ITO導(dǎo)電膜玻璃
氧化銦錫(Indium-Tin Oxide)透明導(dǎo)電膜玻璃,多通過(guò)ITO導(dǎo)電膜玻璃生產(chǎn)線(xiàn),在高度凈化的廠房環(huán)境中,利用平面磁控技術(shù),在超薄玻璃上濺射氧化銦錫導(dǎo)電薄膜鍍層并經(jīng)高溫退火處理得到的高技術(shù)產(chǎn)品。
產(chǎn)品廣泛地用于液晶顯示器(LCD)、太陽(yáng)能電池、微電子ITO導(dǎo)電膜玻璃、光電子和各種光學(xué)領(lǐng)域。
ITO導(dǎo)電膜的主要參數(shù)有：表面電阻、表面電阻的均勻性、透光率、熱穩(wěn)定性、加熱收縮率、加熱卷曲等。其中光透過(guò)率主要與ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面電阻有關(guān)。在基底材料相同的情況下，ITO膜的表面電阻越小，ITO膜層的厚度越大，光透過(guò)率相應(yīng)的會(huì)有一定程度的減小。
透明導(dǎo)電氧化膜TCO中，以摻Sn的In2O3(ITO)膜的透過(guò)率最高和導(dǎo)電性能最好，而且容易在酸液中蝕刻出細(xì)微的圖形，其中透光率達(dá)90%以上。ITO中其透光率和阻值分別由In2O3與Sn2O3之比例來(lái)控制，通常Sn2O3:In2O3=1:9。
以下是兩種不同的ITO導(dǎo)電膜的參數(shù)：
高阻抗ITO導(dǎo)電膜（PET-ITO）
高阻抗ITO導(dǎo)電薄膜PET-ITO主要應(yīng)用于移動(dòng)通訊領(lǐng)域的觸摸屏生產(chǎn)。
產(chǎn)品參數(shù)：
面電阻：300～500 Ω/□
面電阻均勻性：MD≤±3%，TD≤±6%
ITO薄膜厚度：0.188±10%
線(xiàn)性度（MD）：≤1.5%
全光線(xiàn)透過(guò)率：≥86%
表面硬度（鉛筆硬度）：≥3H
熱穩(wěn)定性：(R-R0)/R: ±20%
熱收縮率：MD≤1.0%，TD≤0.8%
加熱卷曲：≤10mm
低阻抗柔性ITO導(dǎo)電膜（PET-ITO）
適用于柔性電致變色器件、柔性薄膜太陽(yáng)能電池、柔性EL發(fā)光器件的制備和生產(chǎn)。
薄膜厚度：0.175±10 mm
霧度：<2%
寬度：406/360±2 mm
粘附：100/100
卷曲：≤10 mm
透過(guò)率：≥ 80%
表面電阻：90±15 Ω/□
面電阻均勻性：<7%
熱收縮：MD≤1.3，TD≤1.0
熱穩(wěn)定性：
高溫：80oC,120hr ≤1.3
低溫：-40oC,120hr ≤1.3
熱循環(huán)：-30oC—80oC ≤1.3
熱/濕度： 60oC, 90% RH,120hr ≤1.3
